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精密烘箱

型      號
GJ- 2010A
DJ- 2010B
內(nèi)箱尺寸
40 ×40 ×45cm W×D×H
50 ×50 ×60cm W×D×H
外箱尺寸
60 ×55 ×75cm W×D×H
70 ×65 ×90cm W×D×H
溫控范圍
 常溫~200℃
控制方式
 P.I.D. 自動溫度演算
溫度解析
 0.1℃單位顯示
控制精度
 ±0.3 ℃
分布精度
 ±1%(1℃) at-room100℃
定 時 器
 0~9999分鐘, 停電記憶型, 蜂鳴器
標(biāo)準(zhǔn)備件
 棚板2片、觀測窗
加熱方式
 熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)
安全保護(hù)
 獨(dú)立EGO超溫斷電、安全過載開關(guān)
制造材質(zhì)
 內(nèi)部SUS#304不銹鋼板、外部: 烤漆涂裝
電    源
 1Ø, AC 220V, 50Hz  10A

烘箱型膠帶保持力試驗(yàn)機(jī)

烘箱型膠帶保持力試驗(yàn)機(jī)

又名: 烘箱型膠帶保持力試驗(yàn)機(jī)烘箱型持粘力試驗(yàn)機(jī)烘箱型持粘力測試儀

簡述: 本機(jī)臺使用于膠帶在高溫條件下粘著的靜負(fù)荷試驗(yàn),在一定的粘著面積與何重下,測試膠帶所能承受的時間,介以評定膠帶粘著的持久性.

適合行業(yè):各類膠粘帶

技術(shù)參數(shù):

A.    溫度:常溫~200℃

B.    試驗(yàn)治具:10組或20

C.    法碼:1KG或指定

D.    計時器:99999.99小時

E.    機(jī)臺尺寸:1000*600*1000mm

F.    重量:100KG

安全保護(hù)裝置: 高溫保護(hù)裝置, 無熔絲過載保護(hù)。

保修期:壹年內(nèi)非人為損壞免費(fèi)維修,壹年后可簽約保修和保養(yǎng)有償服務(wù)

專業(yè)技術(shù)服務(wù)郵箱:hengyu2008sz@163.com

為進(jìn)一步方便江浙滬一帶客戶,本公司以遷致蘇州市吳中區(qū)旺吳路53,蘇州公司設(shè)有專業(yè)售后服務(wù)部、展示廳、標(biāo)準(zhǔn)計量室.提供部分試驗(yàn)機(jī)的樣品展示和校正。同時我司可訂做非標(biāo)試驗(yàn)機(jī),歡迎來電咨詢.恒宇儀器24小時服務(wù)電話:13402584090等待您的來電.

BINDER FED 115 OVEN 烘箱

國產(chǎn)烘箱的升級選擇

YY-15-2P單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)15W 恒溫箱 培養(yǎng)箱 烘箱電機(jī)

 杭州富陽火森電器有限公司 是專業(yè)生產(chǎn)各種電機(jī)的現(xiàn)代化企業(yè).年產(chǎn)電機(jī)50萬臺,主要產(chǎn)品有:YY系列單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)電動機(jī);YY系列冷凝器專用電動機(jī);YY系列空調(diào)器風(fēng)扇電動機(jī);
各種新老系列分馬力電動機(jī).我們公司質(zhì)量方針:以良好的服務(wù),不斷提升的質(zhì)量;滿足顧客的需求.不斷開發(fā)是我們始終如一的目標(biāo)
     不斷發(fā)展和完善科研,生產(chǎn)一體化是的發(fā)展方向,創(chuàng)富陽火森品牌是富陽火森的目標(biāo),富陽火森將以不斷拼搏進(jìn)取的精神,使富陽火森電機(jī)更加卓越,進(jìn)一步贏得國內(nèi)外市場.
     火森電器公司全體員工竭誠歡迎國內(nèi)外用戶的光臨.
電機(jī)介紹:YY-15-2單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YYC-10-2P單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
 冷干機(jī)電機(jī)有:YY120-50/4 , YY94-30/4 , YY94-25/4 , YY94-15/4  YYF96-90/4  YYF94-30/4  YY95-100-4  YYF110-90-4等型號。
  YWF120-23/4單相風(fēng)扇電動機(jī),YWF94-25/4單相風(fēng)扇電動機(jī),YY95-30-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)250mm風(fēng)葉直徑,YY95-45-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
YY95-100/4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY95-120-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY120-50/4三相風(fēng)扇電動機(jī),YWF單相電容異步電動機(jī),SF300-6P 底部安裝電機(jī)
 YSK-30W-2P異步電機(jī),YDK30-6.LSF-71E三相風(fēng)扇電動機(jī),YYF120-60/6冷風(fēng)機(jī)用電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)。
冷凍式干燥機(jī)風(fēng)機(jī),螺桿機(jī),吸頂風(fēng)機(jī)的型號有:  YWF 4E , YWF 4D ,YWF6E, YWF6D外轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī) 
除濕機(jī)電機(jī)有 582除濕機(jī)電機(jī)YY30-94/6 801除濕機(jī)電機(jī)YY120-23 1601除濕機(jī)電機(jī)  1501除濕機(jī)電機(jī)YY120-30
 
YY30-118/6單相風(fēng)扇電動機(jī) 1382專用電機(jī)    單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)YY-22   (1501專用)     YY-16電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)  除濕機(jī)582專用電機(jī)    YY-13電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī) 除濕機(jī)801專用電機(jī)  
 
YY120電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī) 除濕機(jī)1501專用電機(jī)  除濕機(jī)1601專用電機(jī) ,YY120-23/4單相風(fēng)扇電動機(jī) 
 
 冷干機(jī)電機(jī)有:YY120-50/4單相風(fēng)扇電動機(jī) ,YY120-100/4單相風(fēng)扇電動機(jī) YY96-150/4冷風(fēng)機(jī)電容運(yùn)轉(zhuǎn)電動機(jī) ,YY-15-2P單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
YDK-15-2單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YYC-10-2p單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電機(jī) 恒溫箱電機(jī),干燥箱電機(jī),培養(yǎng)箱風(fēng)扇電機(jī)
YWF120-23/4單相風(fēng)扇電動機(jī),YWF94-25/4單相風(fēng)扇電動機(jī),YY95-30-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)250mm風(fēng)葉直徑,YY95-45-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
YY95-100/4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY95-120-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY120-50/4三相風(fēng)扇電動機(jī),YSK-30W-2P異步電機(jī), YDK30-6風(fēng)扇電機(jī)
 
 YY94-30/4 , YY94-25/4 , YY94-15/4單相風(fēng)扇電動機(jī)  YYF96-90/4冷風(fēng)機(jī)電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),LSF-71E三相風(fēng)扇電動機(jī)
 
  YYF94-30/4  YY95-100-4  YYF110-90-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī) 等型號 YYF96-90/4冷風(fēng)機(jī)用電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),LSF-71E三相風(fēng)扇電動機(jī),YYF120-60/6冷風(fēng)機(jī)用電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
 
除濕機(jī)電機(jī)有:  1601除濕機(jī)電機(jī) 1501除濕機(jī)電機(jī)  801除濕機(jī)電機(jī) 582除濕機(jī)電機(jī),凈化器,空氣凈化器,空氣凈化器電機(jī)
 
外轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)有:冷凍式干燥機(jī)風(fēng)機(jī) 吸干機(jī)風(fēng)機(jī) 冷凍式空氣干燥機(jī)風(fēng)扇 冷干機(jī)散熱風(fēng)機(jī) 冷凝器散熱風(fēng)機(jī) 冷凝器風(fēng)扇 冷風(fēng)機(jī)電容異步電動機(jī) 
4
吸附式干燥機(jī)風(fēng)扇電機(jī) YWF4D三相異步電動機(jī) YWF4E單相異步外轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)  YDWF風(fēng)機(jī)外轉(zhuǎn)子軸流 YSWDF外轉(zhuǎn)子軸流風(fēng)扇電動機(jī)
 
YWF4D 單相風(fēng)扇電動機(jī) YWF4E 三相異步外轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī) YSWF4D 單相異步電容啟動電動機(jī) YSWF4E 單相異步外轉(zhuǎn)子風(fēng)扇 YDWF4D無油空壓機(jī)電機(jī)
 
無油靜音空壓機(jī)電機(jī) YDWF4E 空壓機(jī)電機(jī)頭 靜音空壓機(jī)電機(jī) 。錠轉(zhuǎn)子下線 錠轉(zhuǎn)子崁線 錠轉(zhuǎn)子繞線 下線 定轉(zhuǎn)子加工 定轉(zhuǎn)子崁線 錠轉(zhuǎn)子加工 
 
冷風(fēng)機(jī)用電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
    冷干機(jī)電機(jī)有:YY120-50/4單相風(fēng)扇電動機(jī) , YY94-30/4 , YY94-25/4 , YY94-15/4  YYF96-90/4冷風(fēng)機(jī)用電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)  YYF94-30/4單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
     YY95-100-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY95-30-4電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY95-45-4異步電動機(jī)   YYF110-90-4等型號。
                  冷凍式干燥機(jī)風(fēng)機(jī),螺桿機(jī),吸頂風(fēng)機(jī)的型號有:  YWF 4E , YWF 4D ,YWF6E, YWF6D外轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī)  
單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動,(1501專用),YY-22 , (801專用),單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動 YY120,YY-13單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī),YY-16單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)
 
除濕機(jī)電機(jī)有 582除濕機(jī)電機(jī)YY30-94/6   YY16電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī)  801除濕機(jī)電機(jī)YY120-23 1601除濕機(jī)電機(jī)  1501除濕機(jī)電機(jī)YY120-30
        除濕機(jī)582專用電機(jī)   YY13電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī) 除濕機(jī)801專用電機(jī)  除濕機(jī)1501專用電機(jī),YY140-8單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)異步電動機(jī), 除濕機(jī)1601專用電機(jī)
 
 
      杭州富陽火森電器有限公司(前身為富陽火森電器廠)中心25公里,傍依杭富沿江公路連接杭州市和富陽市區(qū),交通十分便利。
近年來,企業(yè)注重產(chǎn)品質(zhì)量,加強(qiáng)科學(xué)管理,堅持科技進(jìn)步,不斷開發(fā)新產(chǎn)品。
公司恪守誠信、堅持創(chuàng)新、追求卓越,歡迎社會各屆來電來函洽談業(yè)務(wù),本公司竭誠為你服務(wù)!
 
 
冷干機(jī)電機(jī)、外轉(zhuǎn)子電機(jī)、內(nèi)轉(zhuǎn)子風(fēng)機(jī).除濕機(jī)電機(jī)、直流電機(jī)、開門機(jī)定轉(zhuǎn)子配件、
單相電容電機(jī)的生產(chǎn)與加工.除濕機(jī)、豆?jié){機(jī)、冷干機(jī)、碎紙機(jī)、榨汁機(jī)、磨鏈機(jī)、開門機(jī)、數(shù)控車床、紡織機(jī)械等
該公司產(chǎn)品分類: 恒溫箱 干燥箱電機(jī) 抽濕機(jī) 風(fēng)幕機(jī) 雙出軸電機(jī) 開門機(jī)電機(jī) 直流電機(jī) 單相電容運(yùn)轉(zhuǎn)電動機(jī) 擦鞋機(jī)電機(jī) 外轉(zhuǎn)子軸流風(fēng)機(jī) 除濕機(jī) 冷干機(jī)

ST0736-1瀝青旋轉(zhuǎn)薄烘箱

ST0736-1 瀝青旋轉(zhuǎn)薄膜烘箱

適用范圍及方法概要

   本產(chǎn)品參照SH/T0736-2003石油行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研制而成,標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的試驗(yàn)法用以測定熱和空氣對半固態(tài)、瀝青膜性能的影響,其結(jié)果由比較試驗(yàn)前后瀝青性質(zhì)的變化確定。

主要技術(shù)參數(shù)

適用標(biāo)準(zhǔn):SH/T0736-2003

控溫方式:數(shù)顯PID溫控儀

控溫范圍:163℃±0.5℃

相關(guān)產(chǎn)品鏈接:

  • ST265-1運(yùn)動粘度測定器
  • ST265-4F低溫運(yùn)動粘度測定器
  • ST265-2運(yùn)動粘度測定器
  • ST265-6低溫運(yùn)動粘度測定器
  • ST11137-1深色石油產(chǎn)品運(yùn)動粘度測定儀
  • ST0557-1石油瀝青粘度測定儀
  • ST265-1A運(yùn)動粘度測定器

BA-OVEN-LU生產(chǎn)烘箱測試機(jī)|蒸汽老化試驗(yàn)機(jī)廠家2012最新格價

OTS正邦測試儀器(東莞)公司銷售烘箱測試機(jī)烘箱適用于烘烤有化學(xué)性氣體及食品加工行業(yè)的欲烘烤物品、基板應(yīng)力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于電子、電機(jī)、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預(yù)熱、定型、加工等。 

 

主要參數(shù):

工作室溫度范圍 室溫~250℃特殊可達(dá)350-400℃ 

工作室含塵濃度 ≥0.5UM塵粒≤3.5顆/升 

工作室內(nèi)凈尺寸 寬650×高620×深430(MM) 

外開尺寸 寬790×高1400×深915(MM) 

電源 380V 50hz 

功耗 4KW,風(fēng)機(jī)功率 180W 

控溫精度 ±1℃ 

1.真空環(huán)境大大降低了需要驅(qū)逐的液體的沸點(diǎn),所以真空干燥箱可以輕松應(yīng)用于熱敏性物質(zhì)。

2.對于不容易干燥的樣品,例如粉末或其他顆粒狀樣品,使用真空干燥法可以縮短干燥時間。

3.各種構(gòu)造復(fù)雜的機(jī)械部件或其他多孔樣品經(jīng)過清洗后使用真空干燥法,干燥后不留任何參與物質(zhì)。

4.使用更安全--在真空或惰性條件下,消除氧化物遇熱爆炸的可能。

5.與依靠空氣循環(huán)的普通干燥相比,粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。

OTS正邦測試儀器(東莞)公司成立至今,一直于研發(fā)制造烘箱、電爐、高低溫試驗(yàn)箱、電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱、工業(yè)烤箱、印制板烘箱、潔凈烘箱、高溫烘箱、充氮烘箱、光電元件干燥箱、電焊條烘干箱、電力電容器烘干箱、臺車烘箱、電熱密閉烘箱.本廠匯集了一批高層次.高素質(zhì)的專業(yè)人才,采用的管理經(jīng)驗(yàn),建立了完整的質(zhì)量體系。公司技術(shù)力量雄厚、工藝裝備、制造經(jīng)驗(yàn)豐富、產(chǎn)品質(zhì)量、售后服務(wù)周到,擁有專業(yè)的生產(chǎn)和管理人員,的產(chǎn)品試驗(yàn)設(shè)備,檢測儀器和加工設(shè)備。并具有豐富的設(shè)計制造經(jīng)驗(yàn)和完善的售后服務(wù)體系,多年深受用戶信賴。 

烘箱測試機(jī)的參數(shù):http://www.ots17.net/xiangxi.php?cid=335

烘箱測試機(jī)首頁:www.ots17.net 

GHW石墨舟烘箱,石墨舟烘干機(jī)價格

 

石墨舟烘箱
1.工作室尺寸:1100×1300×1000
2.溫度范圍:RT+10~150
3.溫度波動度:±1
4.溫度均勻度:±3
5.控制方式:PID+SSR出力
6.內(nèi)箱材質(zhì):SUS304不銹鋼板 
7.外箱材質(zhì):A3鋼板噴塑
8.保溫材質(zhì):玻璃棉
9.加熱器材質(zhì):不銹鋼電熱器,不易氧化
10.溫度控制器:日本“富士”智能型單段式溫度控制儀*按鍵設(shè)定式數(shù)據(jù)輸入*PID動作及自動演算功能
12.測溫體:PT100
13.定時器:LED數(shù)字顯示定時器功能,時間到報警,三色聲光報警
14.保護(hù)裝置:超溫保護(hù)器,無熔絲開關(guān)
15.風(fēng)循環(huán)系統(tǒng):水平循環(huán)送風(fēng)
16.迫緊:硅膠,密封良好
17.控制箱:電器控制柜位于試驗(yàn)箱頂部
18.附氮?dú)膺M(jìn)入口,進(jìn)氣口;
備注:配兩層不銹鋼隔板
該公司產(chǎn)品分類: 烘箱|干燥箱 石墨舟烘箱 老化房 滴水試驗(yàn)裝置 擺桿淋雨試驗(yàn)裝置 光伏組件環(huán)境試驗(yàn)箱 中空玻璃高溫高濕循環(huán)試驗(yàn)機(jī) 紫外光耐氣候試驗(yàn)箱 氙燈耐氣候試驗(yàn)箱 光輻射試驗(yàn)箱 防銹油脂濕熱試驗(yàn)箱 臺式恒溫恒濕箱 臭氧老化試驗(yàn)箱 砂塵試驗(yàn)箱 淋雨試驗(yàn)箱 鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱 固化烘箱 煮沸試驗(yàn)箱 可程式恒溫恒溫箱 高低溫濕熱試驗(yàn)箱

SA-烘箱

  高溫箱,鼓風(fēng)干燥箱,熱風(fēng)循環(huán)干燥箱,烘箱,面對各行業(yè)的專業(yè)設(shè)備.(溫度可選)  
 

 

 

上海松安制冷技術(shù)有限公司

                         劉先生 銷售工程部經(jīng)理  

                                                          地址: 上海市中山北路311 郵編: 200070  

                            021-66359851 / 13918385033

沈陽市-烘箱生產(chǎn)廠家

本公司是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷售,服務(wù)為一體的高新技術(shù)企業(yè).致力于客戶提供科技優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品.產(chǎn)品性能的可靠性,安全性等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到行業(yè)規(guī)定的一流標(biāo)準(zhǔn),繼而被各界合作單位認(rèn)同知名企業(yè).電話:/31314396

【林頻】是臺式烘箱的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司同時還生產(chǎn)各種標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)的環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備!產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、大專院校、質(zhì)檢科研單位、汽摩行業(yè)、電子電工、通迅設(shè)備、電鍍涂層、汽車飾件等眾多領(lǐng)域。獲得廣大新老客戶高度贊揚(yáng)!

以下是關(guān)于"臺式烘箱"的相關(guān)資料,請參考:

型號:DHG-9023A  工作室尺寸:340×325×300  外型尺寸:620×540×490  功率:870W型號:DHG-9030A  工作室尺寸:340×320×320  外型尺寸:620×538×490  功率:870W型號:DHG-9053A  工作室尺寸:420×395×350  外型尺寸:700×610×520  功率:1120W型號:DHG-9070A  工作室尺寸:450×400×450  外型尺寸:740×618×630  功率:1570W型號:DHG-9140A  工作室尺寸:550×450×550  外型尺寸:840×670×730  功率:2070W型號:DHG-9240A  工作室尺寸:600×500×750  外型尺寸:880×720×930  功率:2470W

一、技術(shù)指標(biāo)1、溫度范圍:RT+10℃~250℃/RT+10℃~300℃2、控制精度:±1%(滿量程)3、恒溫波動度:±1℃4、溫度分辨率:0.1℃5、升溫速率:2.0~8.0℃/min6、溫度定時范圍:1-9999M7、載物托盤:2(PCS)8、電源要求:AC220V   50Hz

二、箱體結(jié)構(gòu)1、試驗(yàn)箱設(shè)計完美,箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,操作容易;2、設(shè)有雙層玻璃觀察窗,供觀察工作室狀況之用;3、內(nèi)膽為優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀;4、電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修;5、送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)采用低噪音、長壽命、空調(diào)型美國進(jìn)口風(fēng)機(jī),風(fēng)輪為多翼式離心風(fēng)葉。熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由能在高溫下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的風(fēng)機(jī)和合適的風(fēng)道組成。工作室內(nèi)溫度均勻。

三、控溫系統(tǒng)溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、P.I.D智能控制儀表;精度:0.1℃(顯示范圍);解析度:±0.1℃;感溫傳感器:PT100鉑電阻測試器;控制方式:熱平衡調(diào)溫方式。

四、保溫系統(tǒng)保溫系統(tǒng)采用超細(xì)玻璃纖維填充保溫區(qū),內(nèi)外膽連接部位采用非金屬耐高溫材料,有效降低高溫度傳導(dǎo)。

1、供 貨 期: 收到預(yù)付款后3個工作日內(nèi)發(fā)貨;2、付款方式: 面議或電詢;3、送貨方式:通過汽運(yùn)或托運(yùn)免費(fèi)送貨上門;4、售后服務(wù):保修壹年,終生維護(hù),每半年一次不定期保養(yǎng)。

主營產(chǎn)品:鹽霧試驗(yàn)箱/二氧化硫試驗(yàn)箱/高低溫試驗(yàn)箱/高溫試驗(yàn)箱/低溫試驗(yàn)箱/溫度沖擊試驗(yàn)箱/恒溫恒濕試驗(yàn)箱/紫外耐候試驗(yàn)箱/氙燈試驗(yàn)箱/換氣式老化試驗(yàn)箱/砂塵試驗(yàn)箱/箱式淋雨試驗(yàn)箱/擺管淋雨試驗(yàn)裝置/滴水試驗(yàn)裝置/臭氧老化試驗(yàn)箱/霉菌試驗(yàn)箱/鹽霧試驗(yàn)室/ 高低溫試驗(yàn)室/振動試驗(yàn)臺/防銹油脂濕熱試驗(yàn)箱/精密干燥試驗(yàn)箱/高溫箱/真空烘箱/大型步入式試驗(yàn)箱/藥品穩(wěn)定性試驗(yàn)箱/臺式氙燈老化試驗(yàn)箱/鹽霧恒溫恒濕高溫試驗(yàn)箱/溫度老化室/鹽霧試驗(yàn)箱/高低溫試驗(yàn)箱/恒溫恒濕試驗(yàn)箱/溫濕度振動試驗(yàn)箱

 

該公司產(chǎn)品分類: 環(huán)境可靠性試驗(yàn)設(shè)備 環(huán)境可靠性試驗(yàn)設(shè)備 高低溫試驗(yàn)箱 高低溫實(shí)驗(yàn)室 高低溫試驗(yàn)箱 高低溫實(shí)驗(yàn)室 環(huán)境可靠性試驗(yàn)設(shè)備 鹽霧試驗(yàn)箱 高低溫試驗(yàn)箱

HNDS-90Ahmds真空烘箱/hmds烤箱、hmds預(yù)處理系統(tǒng)/hmds真空鍍膜機(jī)

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是至關(guān)重要的一個工藝環(huán)節(jié),而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質(zhì)量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細(xì)的時候,任何一個環(huán)節(jié)有一點(diǎn)紕漏,都可能導(dǎo)致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。

為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學(xué)制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物,這實(shí)際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強(qiáng)了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初,人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題,但隨著光刻線條的越來越細(xì),膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。

2 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)越性

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于:

(1)預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低,所以有著更好的處理效果。

(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。

(4)更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多;

(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會對環(huán)境造成污染。

3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。

3.1加熱模塊

由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行,所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。

本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱,采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出,從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

3.2真空模塊

由機(jī)械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。

3.3充氮模塊

作用是在置換過程中,用氮?dú)鈦碇饾u稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。

主要由氮?dú)庠础⒖刂崎y和噴頭組成。

3.4加藥模塊

加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。

它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。

3.5控制模塊

控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程。

它主要由人機(jī)界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組成。

人機(jī)界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。

4軟件組成

整個控制軟件共分4個部分,即自動運(yùn)行、手動控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。

當(dāng)按下自動運(yùn)行鍵后,畫面轉(zhuǎn)換到運(yùn)行畫面,顯示當(dāng)前的工藝狀態(tài),運(yùn)行時間等,同時系統(tǒng)開始運(yùn)行。

首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度(該值可預(yù)設(shè))后,開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度(該值也可預(yù)設(shè))后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達(dá)到設(shè)定時間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮?dú)猓螖?shù)為設(shè)定值,當(dāng)系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異常可點(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運(yùn)行。5 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

內(nèi)部尺寸:450X450X450  

電源:   AC220V,功率:3000W

真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下

 

材質(zhì):   內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。

 

管路:   SUS潔凈管

 

層架;   SUS316材質(zhì)

 

門內(nèi)板: 鋼化玻璃

流程控制:液晶觸摸屏(臺灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預(yù)存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)            

加熱方式:腔體外側(cè)加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫              

精確可靠。控溫精度:1℃,真空室溫度均勻

 

氮?dú)庋b置:氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置,控制有自動閥完成。

 

HMDS裝置:HMDS藥液進(jìn)入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶內(nèi)HMDS方式,自動閥控制

 

真空泵:抽氣速度4\

 

工作流程:

首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度(該值可預(yù)設(shè))后,開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度(該值也可預(yù)設(shè))后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空,然后充入藥液,達(dá)到設(shè)定時間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮?dú)猓螖?shù)為設(shè)定值,當(dāng)系統(tǒng)自動工作完成后,畫面切換到結(jié)束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現(xiàn)異常可點(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運(yùn)行。

該公司產(chǎn)品分類: 烘箱

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