化學(xué)試劑純度分析超高純?cè)噭簎p-s級(jí)(也就是mos級(jí)):金屬雜質(zhì)含量小于1ppb,適合0.35—0.8微米集成電路加工工藝。 等離子體質(zhì)譜純級(jí)試劑(icp-mass pure grade):絕大多數(shù)雜質(zhì)元素含量低于0.1ppb,適合等離子體質(zhì)譜儀(icp mass)日常分析工作。 等離子體發(fā)射光譜純級(jí)試劑(icp pure grade):絕大多數(shù)雜質(zhì)元素含量低于1ppb ,適合等離子體發(fā)射光譜儀(icp)日常分析工作。 原子吸收光譜純級(jí)試劑(aa pure grade):絕大多數(shù)雜質(zhì)元素含量低于10 ppb ,適合原子吸收光譜儀(aa)日常分析工作。